等离子体视图

双向或径向

波长范围

167—847nm

分辨率 @ 200nm

0.007nm

测量模式

同时

摄像机技术

高性能 CID86

附加气体

—

可选

标配

Sprint 阀

否

可选

标配

自动进样器

可选

可选

可选（与 Sprint 阀配套使用）

拓展通讯接口

否

否

标配（用于激光烧蚀、火花烧蚀）

占地面积（宽x深x高）

840x750x590mm

重量

85kg